任继东
作品数： 2被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
  • 研究方向:电子电信

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周得时
作品数：6被引量：2H指数：1
供职机构：电子部
研究主题：光刻机 分步光刻机 弹性导轨 VLSI ULSI
张世恩
作品数：4被引量：3H指数：1
供职机构：电子工业部
研究主题：半导体设备 晶片加工 电子工业 光学光刻技术 光学光刻
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