张世恩
作品数: 4被引量:3H指数:1
  • 所属机构:电子工业部
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

童志义
作品数:62被引量:276H指数:10
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光学光刻 集成电路 光刻 硅 CMP
任继东
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光学 激光 历史使命 微细加工 微电子技术