郭丹
作品数: 118被引量:264H指数:9
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

雒建斌
作品数:624被引量:1,166H指数:19
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
路新春
作品数:356被引量:356H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
褚福磊
作品数:453被引量:2,972H指数:30
供职机构:清华大学
研究主题:故障诊断 滚动轴承 转子系统 旋转机械 冲击响应
潘国顺
作品数:168被引量:273H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
何永勇
作品数:257被引量:876H指数:16
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械