雒建斌
作品数: 609被引量:1135H指数:19
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

温诗铸
作品数:427被引量:2,499H指数:24
供职机构:清华大学
研究主题:润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
路新春
作品数:349被引量:349H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
张晨辉
作品数:113被引量:121H指数:5
供职机构:清华大学
研究主题:超高真空 氦气 换热器 水基润滑液 防锈剂
何永勇
作品数:253被引量:865H指数:16
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
马丽然
作品数:89被引量:18H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:润滑剂 流体粘度 润滑 发光 和频