蒋新元
作品数： 4被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:核科学技术

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李钧
作品数：6被引量：2H指数：1
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王渭源
作品数：73被引量：155H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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