关安民
作品数: 16被引量:3H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

李钧
作品数:6被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海原子核研究所
研究主题:离子注入机 离子源 超薄有源层 低能 掺杂
夏冠群
作品数:140被引量:239H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:砷化镓 GAAS MESFET 离子注入 红外探测器
林成鲁
作品数:249被引量:545H指数:13
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
沈鸿烈
作品数:255被引量:322H指数:8
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
孙义林
作品数:7被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子源 离子注入 离子束 溅射 离子束辅助沉积