-
杨宝喜
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 黄惠杰
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:486被引量:627H指数:16
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
- 陈明
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:65被引量:22H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
- 朱菁
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:63被引量:79H指数:6
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
- 曾爱军
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:226被引量:244H指数:10
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
- 张方
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:57被引量:56H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统