-
曾爱军
-
-
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 黄惠杰
- 作品数：491被引量：654H指数：16
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
- 朱玲琳
- 作品数：56被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
- 杨宝喜
- 作品数：93被引量：146H指数：8
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
- 朱菁
- 作品数：65被引量：88H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
- 王向朝
- 作品数：825被引量：1,352H指数：19
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
