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霍同林
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- 所属机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 周洪军
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- 作品数:82被引量:205H指数:8
- 供职机构:中国科学技术大学
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- 洪义麟
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- 徐向东
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- 付绍军
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- 陶晓明
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- 作品数:32被引量:94H指数:7
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶