-
霍同林
-
-
- 所属机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 周洪军
- 作品数：84被引量：207H指数：8
- 供职机构：中国科学技术大学
- 研究主题：多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
- 洪义麟
- 作品数：186被引量：402H指数：11
- 供职机构：中国科学技术大学
- 研究主题：离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
- 徐向东
- 作品数：142被引量：357H指数：11
- 供职机构：中国科学技术大学
- 研究主题：离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
- 付绍军
- 作品数：198被引量：361H指数：9
- 供职机构：中国科学技术大学
- 研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
- 陶晓明
- 作品数：32被引量：93H指数：7
- 供职机构：中国科学技术大学
- 研究主题：离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶
