霍同林
作品数: 71被引量:187H指数:8
  • 所属机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
  • 所在地区:安徽省 合肥市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

周洪军
作品数:82被引量:205H指数:8
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 软X射线 离子束刻蚀
洪义麟
作品数:184被引量:403H指数:11
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
徐向东
作品数:142被引量:357H指数:11
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
付绍军
作品数:197被引量:364H指数:9
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
陶晓明
作品数:32被引量:94H指数:7
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶