-
陶晓明
-
-
- 所属机构:中国科学技术大学
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 洪义麟
- 作品数:184被引量:403H指数:11
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
- 付绍军
- 作品数:197被引量:364H指数:9
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
- 霍同林
- 作品数:71被引量:187H指数:8
- 供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 研究主题:多层膜 真空紫外 软X射线 光束线 离子束刻蚀
- 傅绍军
- 作品数:33被引量:127H指数:8
- 供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 研究主题:离子束刻蚀 软X射线 全息光刻 衍射光栅 光刻胶
- 徐向东
- 作品数:142被引量:357H指数:11
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻