-
郁元桓
-
-
- 所属机构:中国科学院半导体研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 王启元
- 作品数:32被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:硅衬底 氧化铝薄膜 MOCVD 热退火 氧化铝
- 林兰英
- 作品数:147被引量:260H指数:7
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:半导体材料 氮化镓 分子束外延 砷化镓 半导体
- 邓惠芳
- 作品数:13被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:热退火 硅 AL SOI 掺锑
- 蔡田海
- 作品数:8被引量:10H指数:2
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:硅 单晶硅 氢 辐照缺陷 中子辐照
- 王建华
- 作品数:19被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:热退火 氧化铝 硅 硅衬底 MOCVD