蔡田海
作品数: 8被引量:10H指数:2
  • 所属机构:中国科学院半导体研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技攻关计划

相关作者

林兰英
作品数:147被引量:260H指数:7
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:半导体材料 氮化镓 分子束外延 砷化镓 半导体
郁元桓
作品数:14被引量:18H指数:3
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅 单晶硅 MOCVD AL SOI
王启元
作品数:32被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅衬底 氧化铝薄膜 MOCVD 热退火 氧化铝
邓惠芳
作品数:13被引量:13H指数:2
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:热退火 硅 AL SOI 掺锑
王建华
作品数:19被引量:13H指数:2
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:热退火 氧化铝 硅 硅衬底 MOCVD