唐波
作品数: 182被引量:7H指数:2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

李志华
作品数:152被引量:12H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 介质层 电极 波导 暗电流
闫江
作品数:185被引量:8H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
唐兆云
作品数:75被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
许静
作品数:143被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
王红丽
作品数:48被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层