李志华
作品数: 152被引量:12H指数:2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

唐波
作品数:182被引量:7H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
谢玲
作品数:44被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:波导 波导结构 绝缘体上硅 介质层 氮化硅
王文武
作品数:406被引量:8H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
万里兮
作品数:113被引量:96H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:系统级封装 电容器 电容 信号完整性 封装结构
周章渝
作品数:31被引量:14H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:超导薄膜 MGB_2 MGB2 HPCVD MGB2超导薄膜