-
闫辰奇
-
-
- 所属机构:河北工业大学电子信息工程学院
- 所在地区:河北省
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项
相关作者
- 刘玉岭
- 作品数：481被引量：749H指数：13
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 王辰伟
- 作品数：118被引量：165H指数：6
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
- 张金
- 作品数：15被引量：26H指数：3
- 供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
- 研究主题：CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
- 牛新环
- 作品数：126被引量：320H指数：9
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
- 李洪波
- 作品数：10被引量：15H指数：3
- 供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题：磨料 黏度 表面粗糙度 铜 化学机械抛光
