-
刘玉岭
-
-
- 所属机构:河北工业大学
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项
相关作者
- 檀柏梅
- 作品数:161被引量:328H指数:11
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
- 王辰伟
- 作品数:118被引量:165H指数:6
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
- 牛新环
- 作品数:126被引量:321H指数:9
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
- 李薇薇
- 作品数:54被引量:97H指数:6
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院
- 研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
- 周建伟
- 作品数:61被引量:129H指数:6
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片