贾佳
作品数: 35被引量:9H指数:2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘明
作品数:1,361被引量:405H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
谢长青
作品数:35被引量:7H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:位相 透明介质 菲涅耳 波带片 衍射
谢常青
作品数:506被引量:259H指数:8
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
潘一鸣
作品数:13被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:成像分辨率 衍射光学元件 普通玻璃 数值孔径 熔融石英
朱效立
作品数:155被引量:124H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底