谢常青
作品数: 502被引量:255H指数:7
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘明
作品数:1,341被引量:397H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
朱效立
作品数:155被引量:121H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
李冬梅
作品数:146被引量:13H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
叶甜春
作品数:817被引量:643H指数:10
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
牛洁斌
作品数:131被引量:73H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅