-
杨进
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:文化科学
相关作者
- 徐维江
- 作品数:4被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:镀银 电容 匹配性 匹配器 等离子刻蚀
- 郜晨希
- 作品数:29被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:压力传感器 真空规 膜片 电极 金属电极
- 夏洋
- 作品数:501被引量:61H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 刘金虎
- 作品数:26被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:芯片 进样 键合 微通道 热塑性
- 李勇滔
- 作品数:197被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入