-
夏洋
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李超波
- 作品数:337被引量:147H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
- 李勇滔
- 作品数:197被引量:21H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
- 李楠
- 作品数:129被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
- 卢维尔
- 作品数:112被引量:25H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
- 屈芙蓉
- 作品数:66被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 石墨烯