-
刘邦武
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:金属学及工艺
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 夏洋
- 作品数：501被引量：61H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李勇滔
- 作品数：197被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
- 李超波
- 作品数：354被引量：157H指数：7
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
- 王文东
- 作品数：64被引量：12H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：等离子喷涂 SUB 等离子体喷涂 陶瓷涂层 大气等离子喷涂
- 李惠琪
- 作品数：177被引量：549H指数：13
- 供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院
- 研究主题：等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金 截齿 等离子炬
