搜索到 篇“ 衍射光学 “的相关文章

相关作者

谭峭峰
作品数:118被引量:292H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:衍射光学 衍射光学元件 精细化设计 迭代算法 均匀照明
卢振武
作品数:317被引量:1,196H指数:20
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:衍射 光学设计 衍射光学元件 光栅 光学系统
谢常青
作品数:502被引量:255H指数:7
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
李永平
作品数:105被引量:563H指数:11
供职机构:中国科学院
研究主题:衍射光学元件 电子结构 均匀照明 ICF 光束整形
朱效立
作品数:155被引量:121H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底