搜索到 篇“ 层间介质 “的相关文章

相关作者

田晓丽
作品数：93被引量：19H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：碳化硅 IGBT器件 绝缘栅双极晶体管 衬底 场限环
刘新宇
作品数：876被引量：299H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
白云
作品数：157被引量：29H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：碳化硅 衬底 微波等离子体 肖特基二极管 SIC
唐波
作品数：186被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
杨成樾
作品数：152被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触