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刘智辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉玲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:BCB 苯并环丁烯 键合 加速度计 毛细作用
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
齐虹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:流量传感器 微机电系统 湿法腐蚀 传感器芯片 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑丽
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿敏元件 湿敏材料 感湿机理 衬底材料 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓光
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:干法刻蚀 刻蚀速率 均匀性 等离子体刻蚀 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹延昭
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田雷
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:温度 SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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