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郝晓亮
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25
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H指数:4
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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电子电信
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合作作者
赵英伟
中国电子科技集团第十三研究所
马培圣
中国电子科技集团第十三研究所
王秀海
中国电子科技集团第十三研究所
曹健
中国电子科技集团第十三研究所
吴爱华
中国电子科技集团第十三研究所
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赵英伟
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:设备维修 存储介质 参数辨识 晶圆 漏液
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马培圣
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:承片台 波纹管 波导 压板 辅助设备
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王秀海
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:电子枪 温度测量 电子束 设备维修 承片台
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曹健
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 测试夹具 散射参数 串扰 S参数
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吴爱华
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 校准方法 S参数 终端设备 计量学
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张文雅
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:投影光刻机 坩埚 氧化硼 半导体晶体 化合物
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吴海
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:晶圆 离子束刻蚀 参数辨识 压盘 夹具
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翟玉卫
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:热反射 终端设备 结温 热成像 校准
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张文朋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:键合机 设备维修 参数辨识 漏液 显微镜
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申承志
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:真空 半导体设备 检漏 真空泵 报错
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