2024年12月26日
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于磊
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1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
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发文基金:
中国科学院“百人计划”
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张峰
中国科学技术大学工程科学学院精...
沈连婠
中国科学技术大学工程科学学院精...
赵玮
中国科学技术大学工程科学学院精...
郑津津
中国科学技术大学工程科学学院精...
刘雳颋
中国科学技术大学工程科学学院精...
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刘雳颋
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:紫外光刻 部分相干光 部分相干 衍射效应 遗传算法
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供职机构
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沈连婠
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
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赵玮
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:大规模定制 基于WEB VRML 面向大规模定制 产品族
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张峰
供职机构:中国科学院自动化研究所
研究主题:卧式下肢康复机器人 大口径光学元件 功能性电刺激 康复机器人 作业疗法
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郑津津
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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