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张鑫
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供职机构:
中国科学院光电研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电气工程
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合作作者
曹沛
北京市准分子激光工程技术研究中...
马英麒
北京市准分子激光工程技术研究中...
徐向宇
北京市准分子激光工程技术研究中...
周翊
北京市准分子激光工程技术研究中...
罗艳
中国科学院光电研究院
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徐向宇
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:串联谐振 LC 高压脉冲 脉冲功率电源 脉冲功率
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曹沛
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:串联谐振 LC 高压脉冲 脉冲功率电源 脉冲功率
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马英麒
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:双腔 准分子激光器 高频高压 过电流 高重频
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徐向宇
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:双腔 准分子激光器 常压 高频高压 过电流
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张罗莎
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 紫外辐照 液滴 法兰 紫外光刻
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王魁波
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 极紫外 法兰 真空 紫外辐照
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罗艳
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 紫外辐照 真空 液滴 法兰
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周翊
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 分子激光器 激光器 激光 放电区
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王宇
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 分子激光器 激光 波像差 分压
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吴晓斌
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:分压 极紫外 真空 法兰 紫外辐照
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