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潘春辉

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

领域

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  • 1个机电工程

地区

  • 4个陕西省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘耀波
供职机构：西北工业大学
研究主题：扫描镜 微机电系统 绝缘体上硅 沟道 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
练彬
供职机构：西北工业大学深圳研究院
研究主题：扫描镜 谐振频率 静电驱动 光学器件 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晓莹
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁晓伟
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 谐振频率 沟道 刻蚀 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乔大勇
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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