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赵晶晶
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北方工业大学微电子研究中心
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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合作作者
姜岩峰
北方工业大学微电子研究中心
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姜岩峰
供职机构:北京自动测试技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 硅 集成电路 JTAG MEMS
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