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闵锐

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

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  • 3个安徽省
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许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马渊明
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 光电探测器 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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