2024年11月30日
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李凡星
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34
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H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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理学
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合作作者
严伟
中国科学院光电技术研究所
杨帆
中国科学院光电技术研究所
田鹏
中国科学院光电技术研究所
胡松
中国科学院光电技术研究所
周毅
中国科学院光电技术研究所
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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杨帆
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量方法 微透镜阵列 传感器 成像 光栅尺
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田鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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周毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
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邓钦元
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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王健
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
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杨杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:激光跟踪仪 工件台 测头 测量问题 光学元件
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