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李岳
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1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
国防科学技术大学研究生院
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相关领域:
金属学及工艺
冶金工程
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合作作者
龙会跃
国防科学技术大学研究生院
邱小莎
中国电子科技集团公司
钟新华
中国电子科技集团公司
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钟新华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入机 系统设计 系统模型 温度控制器 控制器设计
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邱小莎
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 大角度离子注入机 控制器 控制方法
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所获资助
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龙会跃
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:温度控制器 系统模型 红外辐射 快速退火 温度测量
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