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陈平
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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轻工技术与工程
动力工程及工程热物理
电气工程
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合作作者
舒福璋
中国电子科技集团公司第四十五研...
胡孝伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
郑佳晶
中国电子科技集团公司第四十五研...
段成龙
中国电子科技集团公司第四十五研...
谢耿勋
中国电子科技集团公司第四十五研...
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舒福璋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 半导体制造 刻蚀工艺 均匀性
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冯小强
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:太阳能 半导体 太阳能电池 单晶圆 喷头
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关宏武
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:静电 半导体 模态分析 阻尼 太阳能
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所获资助
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胡孝伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:多线切割机 结构优化 太阳能 CMP 底座
发表作品
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供职机构
所获资助
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段成龙
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:湿法刻蚀 CAE分析 CAE 化学清洗 全自动
发表作品
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所获资助
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谢耿勋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:多线切割机 模态分析 临界转速 主轴 振动
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郑佳晶
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:DSP 嵌入式系统 LED 遗传算法 PID控制
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赵永进
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:太阳能 太阳能电池 全自动 齿轮传动 太阳跟踪装置
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所获资助
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吴学宾
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:多线切割机 排线 传统砂浆 出片 DW
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