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雷震
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供职机构:
西安工业大学光电工程学院
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相关领域:
航空宇航科学技术
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合作作者
王三龙
西安工业大学光电工程学院
杨国锋
西安工业大学光电工程学院
孙国斌
西安工业大学光电工程学院
蒋世磊
西安工业大学光电工程学院
张锦
西安工业大学光电工程学院
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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孙国斌
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
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杨国锋
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:干涉光刻 光强 光刻 多光束干涉 ABS
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王三龙
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:DELPHI 误差分析 球心
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供职机构
所获资助
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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