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霍建琴

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院研究生院更多>>
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王文荣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 衬底 半导体工艺 化学气相沉积 常压
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冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
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李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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