2024年12月26日
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任丁
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合作作者
林黎蔚
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林黎蔚
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 铜互连 超深 SUB
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刘波
供职机构:教育部
研究主题:影响因素 MO CU 多金属氧酸盐 两亲分子
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张彦坡
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 超深 SUB 阻挡层 铜互连
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展长勇
供职机构:四川大学
研究主题:多孔硅 高压脉冲电源 离子源 电化学刻蚀 形貌
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黄宁康
供职机构:四川大学
研究主题:SIC涂层 离子束 涂层 ZRO 电子束
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伍建春
供职机构:教育部
研究主题:磁控溅射沉积 磁控溅射 氧化铀 锆 氙
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蒋稳
供职机构:教育部
研究主题:磁控溅射沉积 磁控溅射 硅表面 形貌 多孔硅
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植超虎
供职机构:四川大学
研究主题:MO HE CU 纳米多层膜 W
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李佳峻
供职机构:教育部
研究主题:MO CU SRIM 辐照损伤 纳米复合薄膜
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所获资助
研究领域
邹宇
供职机构:教育部
研究主题:磁控溅射沉积 磁控溅射 氧化铀 锆 氙
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