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张文朋
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38
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
文化科学
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合作作者
吴海
中国电子科技集团第十三研究所
赵英伟
中国电子科技集团第十三研究所
吴爱华
中国电子科技集团第十三研究所
张辉
中国电子科技集团第十三研究所
雷宇
中国电子科技集团第十三研究所
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吴海
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:晶圆 离子束刻蚀 参数辨识 压盘 夹具
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赵英伟
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:设备维修 存储介质 参数辨识 晶圆 漏液
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吴爱华
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 校准方法 S参数 终端设备 计量学
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张辉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:参数辨识 转子电阻 背离 感应电机 防松
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雷宇
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:投影光刻机 漏液 排查 运行监控 拓扑分析
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姚刚
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:存储介质 故障点 终端 化合物半导体 刻蚀
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翟玉卫
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:热反射 终端设备 结温 热成像 校准
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郝晓亮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:等离子 半导体设备 真空 承片台 波纹管
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刘晨
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:校准 S参数 校准方法 终端设备 串扰
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金黎雷
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:XY工作台 激光干涉仪 激光干涉 纳米级 水压
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