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石磊

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
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共 4 条 记 录，以下是 1-4
陈迪
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：光刻 结构性能 旋涂 纳米压印
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金娅
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：光刻 结构性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱军
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：光刻 结构性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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