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吴雷
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1
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
王翊
中国科学院上海微系统与信息技术...
王立春
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王翊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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王立春
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气密封装 微机械 凸点 料封 微机械传感器
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