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何大伟
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
程新红
温州大学
俞跃辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐大伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
王中健
中国科学院上海微系统与信息技术...
夏超
中国科学院上海微系统与信息技术...
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程新红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 功率器件 栅结构 击穿电压 石墨烯
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俞跃辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
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徐大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 栅极 光刻胶 金属
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王中健
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 石墨烯 介质薄膜 离子注入 漂移
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夏超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 金属 离子注入 漂移
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宋朝瑞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI材料 SOI 介质薄膜 SOI_LDMOS 高介电常数
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张有为
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 氧化物薄膜 金属氧化物薄膜 金属 介质薄膜
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王中建
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:成核 场效应晶体管 氧化物薄膜 金属 介质薄膜
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徐大朋
供职机构:温州大学
研究主题:SOI OFF LIFT-OFF LIFT HFO
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万里
供职机构:温州大学
研究主题:HFO AL2O3 AL 热稳定性 电学
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