2024年11月27日
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李连杰
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复旦大学微电子研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
朱宝
复旦大学微电子研究院
张卫
复旦大学微电子研究院
丁士进
复旦大学微电子研究院
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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朱宝
供职机构:复旦大学
研究主题:浮栅 电容 硅 金属 TSV
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