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徐昕伟

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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领域

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地区

  • 3个北京市
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共 5 条 记 录，以下是 1-5
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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郭晓龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：真空设备 微波 干燥装置 硅片 微细结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于明岩
供职机构：哈尔滨理工大学
研究主题：气体传感器 微波 干燥装置 硅片 微细结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施云波
供职机构：哈尔滨理工大学
研究主题：传感器 气体传感器 SUB 气体传感器阵列 有机半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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