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张旭辉
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
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合作作者
徐爱东
中国电子科技集团第十三研究所
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
徐淑静
中国电子科技集团第十三研究所
吕树海
中国电子科技集团第十三研究所
卞玉民
中国电子科技集团第十三研究所
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徐爱东
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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吕树海
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
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徐淑静
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
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卞玉民
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
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李倩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械加工 毫米波 X波段
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王玉奎
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS加速度传感器 MEMS 空气流量计 粮情检测系统 粮情检测
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吝海锋
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 可靠性研究 电容式加速度计 硅
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肖咸盛
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:微电子机械系统 传感器 环境适应性 精确制导武器 卫星探测
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罗蓉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 MEMS 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
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