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孙小孟

作品数：16 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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领域

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机构

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资助

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地区

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共 14 条 记 录，以下是 1-10
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李英杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
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秦威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵章琰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
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赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
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王文东
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
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杨军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：辉光放电 电子束 掺杂 硼 半导体
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
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