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孙小孟
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
李勇滔
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
李英杰
中国科学院微电子研究所
秦威
中国科学院微电子研究所
赵章琰
中国科学院微电子研究所
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
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秦威
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
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赵章琰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
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赵丽莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
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王文东
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
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杨军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:辉光放电 电子束 掺杂 硼 半导体
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
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