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张海轮

作品数：27 被引量：1H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 8个自动化与计算...
  • 4个电子电信
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个文化科学
  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生

主题

  • 11个半导体
  • 9个半导体设备
  • 8个氧化炉
  • 6个调节装置
  • 6个信号
  • 6个立式
  • 6个控制器
  • 6个控制装置
  • 5个升温速率
  • 5个气体
  • 5个前馈
  • 5个前馈补偿
  • 5个温度控制
  • 5个温控
  • 5个温控系统
  • 5个温区
  • 5个下位机
  • 5个控制信号
  • 4个电力
  • 4个通信

机构

  • 13个北京七星华创...

传媒

  • 4个电子工业专用...
  • 2个第六届ABB...

地区

  • 13个北京市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
张芳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 硅片 参量 LPC 氧化炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付运涛
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体工艺 氧化炉 半导体设备 控制装置 炉体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 氧化炉 控制方法 开关 碰撞
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程朝阳
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 氧化炉 立式 扩散炉 立式炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王凯
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 硅片 承载器 叠片 通信系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐妍妍
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：功率控制器 模拟量 切换方法 通信方式 数字量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐冬
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽荣
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 排气 半导体 门锁 阀门
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：CVD设备 半导体工艺设备 温控系统 微分控制 自校正调节
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈亚
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：立式炉 温度控制 功率补偿 计算功率 可控硅模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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