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程伟林

作品数：21 被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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共 26 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱珍梅
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 狭缝 大口径透镜 步进 大行程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨增辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 边界面 包边工艺 包边 防撞装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林栋梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 组件 光刻机 多自由度 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙征宇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大气气溶胶 步进 大行程 循环检测 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王振
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 大口径透镜 非平面 防撞装置 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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