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徐仁新

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院控制科学与工程系更多>>
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
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王公峰
供职机构:哈尔滨工业大学
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李聪
供职机构:哈尔滨工业大学计算机科学与技术学院
研究主题:工件台 光刻机 系统设计 误差分析 状态反馈
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