2024年12月25日
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徐仁新
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2
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供职机构:
哈尔滨工业大学航天学院控制科学与工程系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
李聪
哈尔滨工业大学航天学院控制科学...
王公峰
哈尔滨工业大学航天学院控制科学...
陈兴林
哈尔滨工业大学航天学院控制科学...
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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供职机构
所获资助
研究领域
王公峰
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:工件台 系统设计 标准总线 VME总线 半物理仿真
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相关人物
供职机构
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研究领域
李聪
供职机构:哈尔滨工业大学计算机科学与技术学院
研究主题:工件台 光刻机 系统设计 误差分析 状态反馈
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