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衣忠波

作品数：6 被引量：7H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 7个电子电信
  • 3个机械工程
  • 2个自动化与计算...
  • 1个电气工程

主题

  • 4个扭矩
  • 4个金刚石
  • 4个控制研究
  • 4个减薄
  • 4个恒张力
  • 4个刚石
  • 4个半导体
  • 4个闭环
  • 4个闭环控制
  • 3个弹性铰链
  • 3个碳化硅
  • 3个铰链
  • 2个单晶
  • 2个亚表面损伤层
  • 2个延性
  • 2个损伤层
  • 2个芯片
  • 2个进给
  • 2个半导体设备
  • 1个单晶圆

机构

  • 7个中国电子科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个中华人民共和...

传媒

  • 7个电子工业专用...
  • 1个集成电路应用
  • 1个2003中国...
共 7 条 记 录，以下是 1-7
杨生荣
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：金刚石 延性 亚表面损伤层 减薄 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王仲康
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：芯片 减薄 延性 粗糙度 超薄化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵岁花
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：碳化硅 研磨 RTX 减薄 实时控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王刚
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：半导体 自动设备 全自动 清洗机 铝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张敏杰
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：闭环控制 闭环 恒张力 控制研究 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王克江
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：刀具 闭环控制 闭环 恒张力 控制研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王欣
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：PLC实现 PLC 旋转工作台 定位控制 三工位
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