2024年11月26日
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郭玉龙
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清华大学
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合作作者
郭丹
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
潘国顺
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
雒建斌
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
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