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张有为
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4
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
程新红
中国科学院上海微系统与信息技术...
俞跃辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
王中健
中国科学院上海微系统与信息技术...
夏超
中国科学院上海微系统与信息技术...
万里
温州大学物理与电子信息学院
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供职机构:温州大学物理与电子信息学院
研究主题:场板 HEMT 击穿电压 AL2O3薄膜 AL
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程新红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 功率器件 栅结构 击穿电压 石墨烯
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王中健
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 石墨烯 介质薄膜 离子注入 漂移
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俞跃辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
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夏超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 金属 离子注入 漂移
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唐东升
供职机构:湖南师范大学
研究主题:碳纳米管 化学气相沉积法 纳米线 化学气相沉积 一维纳米结构
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何大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI ESD保护器件 高介电常数 高压功率器件 栅极
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边惠
供职机构:温州大学物理与电子信息学院
研究主题:SIO2 干凝胶 拉曼散射 多孔薄膜 纳米硅
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曹铎
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 介质薄膜 漂移 掩膜版 沟道
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徐大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 栅极 光刻胶 金属
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